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中南大学扭转PECVD

宣布时候:2020-11-20  阅读次数:1349

中南大学程教员为了处置碳酸铈资料,在我公司定制非标准扭转PECVD装备组装终了后,停止空载试机,为教员及先生讲授装备功效及利用方式,测试各项功效均普通后停止第一次尝试。

装载约莫25克碳酸铈,因为质料含有较大的水份,起头抽真空较着感受抽真空速度及其迟缓,真空泵运转快要一个小时,能力抽至100pa摆布在未通氧气的环境下,一旦射频开启,真空度会敏捷降低,且炉管内部辉光为阴暗的紫色,且启辉不易不变,须要较长的时候,通入氧气后会在炉管右端起首反映比拟剧烈,会呈现爆闪的红光,跟着反映进程的推动,辉光会逐步不变且向炉管左边舒展,直至布满全部炉管,且辉光色彩会逐步由暗紫色变为淡紫色终究转为淡粉色,尔后色彩就不再产生变更,真空度也会保持在一个很低的程度,普通在20pa摆布反映实现后物料色彩由之前的纯红色变为米黄色。